商特儀器為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度檢測儀器。
?晶圓加工過程中提供如拉曼光譜儀,在線高速分光干涉膜厚儀、表面輪廓測量系統(tǒng)等,實現(xiàn)生產(chǎn)過程中對晶圓厚度、平坦度、膜厚、雜質(zhì)的實時把控。
?針對拋光液、光刻膠、光掩膜等半導(dǎo)體功能材料進行理化分析的相關(guān)儀器,如納米粒度分析儀、激光粒度儀、光刻膠測量裝置。
?在生產(chǎn)流程的清潔環(huán)境驗證方面,提供有如空氣粒子計數(shù)器、沉降粒子監(jiān)控設(shè)備、風(fēng)速風(fēng)溫溫濕度、噪音計、振動計,滿足生產(chǎn)環(huán)境所需的污染控制與人員工作條件。
?水質(zhì)檢測,有TOC分析儀、液體顆粒計數(shù)器等儀器設(shè)備,滿足高精密制造的生產(chǎn)條件實時監(jiān)控。
?芯片封裝測試階段,商特提供可靠性測試與分析設(shè)備,如紅外光譜儀、各類顯微鏡、CT掃描裝置、偏壓測試系統(tǒng)、可焊性測試、恒溫恒濕試驗箱等等。